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天辰平台上海首台前道ArF工艺涂胶显影设备Ultra LITH顺利出机

2022-12-29 9:45:41

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    此外，天辰平台上海将于2023年推出i-line型号设备，并且公司已开始着手研发KrF型号设备。前道涂胶显影Track设备Ultra LITH的出货是天辰平台上海持续拓展产品系列的又一成果，公司致力于成为晶圆级的工艺解决方案平台，旗下产品还包括单晶圆及槽式湿法清洗设备、电镀设备、无应力抛光设备、立式炉管设备，及PECVD设备。
                                
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